窒化アルミニウムチューブ
窒化アルミニウム(ALN)チューブ:高性能技術セラミックソリューション
例外的なパフォーマンス特性
熱管理特性
優れた熱伝導率(170-220 w/m・k) - 毒性の懸念のないベリリアに匹敵する
低熱膨張(4.5×10°/度) - 半導体互換性のシリコンと一致する
高温の安定性 - 不活性雰囲気で最大1,380度の完全性を維持します
電気および機械的特性
優れた電気断熱材(10¹³-10¹⁴ω・cm体積抵抗率)
高誘電率(15-20 kV/mm)
中程度の機械的強度(300-400 MPA Flexural)
耐薬品性
溶融金属に耐性 - アルミニウムと銅を含む
酸化セラミックとは異なり、大気を減らす際に安定しています
加水分解耐性 - 競合する窒化物よりも優れています
主要な産業用アプリケーション
1。半導体製造
ウェーハ処理コンポーネント - CVDおよびエッチング機器用
プラズマ封じ込めチューブ - 乾燥エッチングシステム
ヒーター&チャックコンポーネント - ウェーハサーマル処理用
2。パワーエレクトロニクス
ヒートシンクチューブ - 高出力LEDパッケージ用
絶縁エンクロージャー - 高電圧電源モジュール
RF/マイクロ波コンポーネント - 低損失誘電性アプリケーション
3。高度な材料処理
クリスタルの成長るつぼ - アルセニドのガリウム生産用
金属蒸発容器 - 真空堆積システム
熱界面コンポーネント - 高温炉用
4。航空宇宙と防衛
レーダーコンポーネントハウジング - マイクロ波透明特性
熱管理システム - アビオニクスの冷却用
代替案よりも重要な利点
ベリリアよりも安全 - 毒性のない同等の熱性能
アルミナ- 6-8×より良い熱散逸よりも熱的に導電性
炭化シリコンよりも安定しています - より良い酸化抵抗
技術的なキーワード:
窒化アルミニウムチューブ特性、高熱伝導性セラミック、ALN技術仕様、半導体グレードセラミック
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窒化アルミニウムパイプアイテム:窒化アルミニウムパイプもっと
素材:Aln
Size: ID >1mm、長さ<400mm
表面の粗さ:ra 0。2-3。2um
形状:円筒形とカスタマイズ
プロセス:乾燥プレスまたは等張りのプレス、圧力のない焼結、精密機械加工、表面研磨 -
ALNセラミックチューブアイテム:ALNセラミックチューブもっと
素材:Aln
Size: ID >1mm、長さ<400mmm
表面の粗さ:ra 0。2-3
形状:円筒形とカスタマイズ
プロセス:乾燥プレスまたは等張りのプレス、圧力のない焼結、精密機械加工、表面研磨
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