アイテム：SI3N4基板
材料：SI3N4
サイズ：190*140*0.32mm、カスタマイズ
形状：カスタマイズ
プロセス：アイソスタティックプレス、高温焼結、高温アイソスタティックプレス、精密機械加工、表面研磨
窒化シリコン（Si₃n₄）基質の用途
| 業界 | アプリケーション |
|---|---|
| エレクトロニクスと半導体 | 高出力LED基板 パワーエレクトロニクス用の絶縁基板 MEMS（マイクロエレクトロメカニカルシステム） |
| 自動車と航空宇宙 | エンジンコンポーネント（ベアリング、ターボチャージャーローター） タービンブレード用の耐熱コーティング |
| 産業とエネルギー | 切削工具と耐摩耗性の部品 太陽電池製造の基質 |
| 医療およびバイオテクノロジー | 歯科インプラントと整形外科デバイス 手術器具 |
窒化シリコン基質の製造プロセス
| プロセス段階 | 方法と詳細 |
|---|---|
| 粉末準備 | - 直接ニトリッド：シリコンパウダー +n₂ガス→si₃n₄ - 炭水化物の削減：Sio₂ + C +N₂→Si₃n₄ + co |
| 形成テクニック | - 乾燥圧力：高圧圧縮 - 等吸着プレス：静水圧による均一密度 - スリップキャスト：複雑な形の場合 |
| 焼結 | - 圧力のない焼結：焼結エイズを備えた1,700〜1,800度（y₂o₃、al₂o₃） - ホットプレス（HP） /ホットアイソスタティックプレス（HIP）：密度と強度を向上させる |
| 後処理 | - 機械加工（研削、研磨） - コーティング（アプリケーション固有） |
他のセラミックに対するsi₃n₄の利点
| 財産 | 比較 |
|---|---|
| 熱衝撃耐性 | アルミナよりも優れている（al₂o₃） |
| 骨折の靭性 | ジルコニアよりも高い（zro₂） |
| 高温性能 | 酸化環境における炭化シリコン（原文）よりも優れています |
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